產(chǎn)品應(yīng)用：

適合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由于大部分的存儲(chǔ)柜或者是氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲(chǔ)品上。松鑫潔凈柜則適合存放需要低濕保存，同時(shí)又需要避免灰塵污染的物品.

相關(guān)技術(shù)指標(biāo)： 

1）潔凈等級(jí)

專業(yè)高效潔凈過濾裝置，濾網(wǎng)采用進(jìn)口超細(xì)玻璃纖維,確保潔凈柜內(nèi)CLASS 10~100級(jí)/1000級(jí)（10級(jí)一般是指空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下，必潔淨(jìng)度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。   

2）TDH實(shí)驗(yàn)

即存放在潔凈柜內(nèi)經(jīng)過干燥2小時(shí)的硅片不能有不正?；虺瑯?biāo)返顆粒的現(xiàn)象產(chǎn)生(返顆粒取樣測(cè)試后總數(shù)平均數(shù)與原有硅片顆粒數(shù)對(duì)比≦10ea (包括0.2um及0.3um))   

3）降濕速度

除濕性能可達(dá)到5%以下,空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒，在氮?dú)饬髁坎淮笥?0L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時(shí)間不大于30min；

4) 進(jìn)口無塵風(fēng)機(jī)：采用進(jìn)口無塵室專用FFU風(fēng)機(jī)，面風(fēng)速：0.3～0.45m/s；

5）靜電殘余值測(cè)定松鑫全功能潔凈氮?dú)夤瘢ㄟx配）

潔凈氮?dú)夤駜?nèi)放置的硅片盒，經(jīng)過干燥2小時(shí)后，硅片盒取樣及定點(diǎn)測(cè)試靜電值必須≦1kv

6）柜內(nèi)風(fēng)速均勻性

潔凈柜內(nèi)有氮?dú)獾臒o死角，可使用風(fēng)速測(cè)定儀來檢測(cè)內(nèi)部硅片放置各點(diǎn)的風(fēng)速，不能有較大差異。

7）溫濕度顯示及記錄管理。

溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達(dá)30米；

溫濕度顯示監(jiān)控: 可對(duì)溫濕度作24小時(shí)不間斷的監(jiān)控，在潔凈柜在完全關(guān)閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動(dòng)。

潔凈氮?dú)夤裰饕攸c(diǎn)：

一、規(guī)格尺寸(尺寸可訂制)

1、材質(zhì)：SUS304雙鏡面

2、工作電壓：220V

3、溫濕度顯示器精度：相對(duì)濕度±3%Rh，溫度±1℃ 

二、主要特色

SXD-COL系列是集快速降濕、除塵、氮?dú)夤?jié)約功能于一體的無塵室儲(chǔ)存設(shè)備。

潔凈氮?dú)夤癞a(chǎn)品說明：

*控制方式：采用濕度/氧含量控制的方法。

*高潔凈過濾器FFU采用美國等進(jìn)口知名品牌。

*靜音離心風(fēng)機(jī)采用德國等進(jìn)口知名品牌。

*采用高品質(zhì)靜電消除裝置。

*對(duì)氮?dú)膺M(jìn)行前期潔凈預(yù)處理。

*采用雙數(shù)顯式控制器，對(duì)箱內(nèi)濕度或含氧量進(jìn)行顯示和控制（二選一）。設(shè)備具有很好的密封性能，塵埃過濾，水平或垂直送風(fēng)。

*設(shè)備可由濕度和氮濃度檢測(cè)顯示,氮?dú)饬髁靠刂?高潔凈過濾器受阻等多個(gè)系統(tǒng).

*控制儀可選配置進(jìn)行溫濕度含氮量數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示,存儲(chǔ)和輸出和報(bào)警功能。

不銹鋼潔凈型有四項(xiàng)主要特色：

1、模組化設(shè)計(jì)：本機(jī)器采用獨(dú)特的模組化設(shè)計(jì)，溫濕度顯示器、控制系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)及除靜電系統(tǒng)均能快速更換，保養(yǎng)及維修簡(jiǎn)便，大大提升維護(hù)效率。

2、彈性設(shè)計(jì)：整臺(tái)設(shè)備現(xiàn)有除濕、除塵、防靜電、氮?dú)夤?jié)約、數(shù)據(jù)收集和聲光警報(bào)功能均可依據(jù)客戶需求配置。

3、簡(jiǎn)易的操作：在完成濕度目標(biāo)值設(shè)定后，SXD-COL系列各功能獨(dú)立性強(qiáng)，開關(guān)按鍵設(shè)置簡(jiǎn)潔明了，操作人員可快速掌握其操作方法。

4、**性設(shè)計(jì)：內(nèi)置雙重抗干擾設(shè)計(jì)，可有效解決相鄰高壓設(shè)備帶來的干擾和因操作不當(dāng)導(dǎo)致的電器部件損毀問題。

* 松鑫批量生產(chǎn)百級(jí)潔凈氮?dú)夤裥吞?hào)SXD-COL-4M潔凈氮?dú)夤?不銹鋼潔凈氮?dú)夤?十級(jí)潔凈氮?dú)夤?100級(jí)潔凈氮?dú)夤駱?biāo)準(zhǔn)/1000級(jí)潔凈等級(jí)。

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